2024-04-23
基本信息
职务：博士生导师
职称：研究员
学院：国家卓越工程师学院
研究方向：分离与纯化技术
招生专业：化学工程
Email：cjxu@tju.edu.cn
招收类型：非全日制博士生
校企合作项目名称：集成电路制造高纯电子气体中试工艺研发及产业化
导师简介：许春建，研究员，主要从事化工分离过程及可持续能源储存与转化方向研究，累计发表论文110篇，授权专利20余项。曾获2004年国家科技进步二等奖、2004年天津市科技进步一等奖、2005年中国石油化工集团公司科技进步三等奖、2021年河北省科技进步一等奖。与中船第七一八所、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司合作完成国家重大科技专项“高纯电子气体研发与产业化”项目、在研KJB“集成电路制造高纯电子气体中试工艺研发及产业化”项目；承担“天津大学与宝舜化工科技股份有限公司的战略合作”项目；中石化十条龙项目“己内酰胺生产技术的消化吸收和再创新”等五十余项纵向和横向课题，累计科研经费超5000万元。负责讲授天津大学《化学工程领域前沿》与《吸附分离过程原理》等课程，累计培养博/硕士60余人。
项目简介：KJB重大科技专项“集成电路制造高纯电子气体中试工艺研发及产业化”项目：高纯电子特种气体作为集成电路制造过程中不可缺少的基础性支撑原材料之一，在芯片制造全过程中均需用到，其纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率。其中，高纯氯硅烷、氘代氨等电子特气从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性，是实现14纳米及以下与更成熟工艺生产线生产连续性和产品连续性的关键材料。以高纯二氯硅烷为例，其用于化学气相沉积工艺和硅外延芯片生长工艺，是半导体制造过程中重要的硅源材料，但我国高纯氯硅烷面临“卡脖子”风险。本课题执行期间，将创新开发4N级SiH2Cl2、5N级SiH2Cl2、6N级SiCl4与4N级ND3的研发工艺，突破国外高纯电子气体合成技术封锁，实现知识产权自主化；并与合作企业，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司，共同完成上述高纯电子特气的产业化生产，实现我国电子特气的稳定量产，为保障国家集成电路产业链安全提供支撑。该项目周期为2023年6月至2025年6月，预计可培养一至两届博士研究生。
企业导师简介：李绍波，研究员，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司副董事长、党委书记，主要从事特种气体的工艺研发及产业化工作。享受国务院政府特殊津贴专家、中国气体百人会会长、中国船舶集团高级专家。曾获2017年河北省科技进步一等奖、2021年河北省科技进步一等奖。先后承担国家重大科技专项“高纯电子气体研发与产业化”项目、KJB “图形化工艺用材料产品开发” 等项目。
个人主页：许春建
