2024-04-23
基本信息
职务：博士生导师
职称：英才教授
学院：国家卓越工程师学院
研究方向：仪器科学与技术
招生专业：电子信息
Email：cghu@tju.edu.cn
招收类型：全日制博士生、非全日制博士生
校企合作项目名称：华海清科股份有限公司
导师简介：2007年获得天津大学工学博士学位，2005-2010年在奥地利林茨大学进行博士学位学习和博士后研究。主要从事微纳米测试技术及仪器方面的研究，主持国家和省部级项目13项，发表第一或通讯作者发表SCI检索学术论文60余篇，授权中国发明专利26项，自研技术和仪器在30余家科研机构和企业获得应用推广，获全国优秀博士学位论文、教育部新世纪优秀人才、教育部技术发明一等奖等荣誉，当选中国光学工程学会、中国仪器仪表学会、中国机械工程学会、中国微米纳米技术学会、全国光电测量标准化技术委员会等学术组织的委员。指导学生获中国传感器创新创业大赛一等奖、天津市优秀博士学位论文奖、天津市优秀硕士学位论文奖、天津市工程专业学位研究生优秀学位论文奖等。
项目简介：该项目依托国家重点研发计划基础科研条件与重大科学仪器设备研发专项“光谱色散式膜厚探测器”项目，针对集成电路、微机电系统、先进显示面板以及先进材料等领域先进制程对晶圆、介质膜等的超精密膜厚测量需求，开发光谱色散式膜厚探测器，突破毫米级大量程纳米级精度测量、高速数字采集、恶劣环境抗震抗污性光学探头、长时大通量高速高精度厚度解算算法等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的部件产品，实现在晶圆检测系统、制程薄膜测量系统等仪器中的应用。
企业导师简介：王同庆，华海清科股份有限公司副总经理，教授级高级工程师，化学机械抛光技术及装备领域专家，主持/参与02专项等国家级集成电路有关重大科技项目10余项，兼任中国电子专用设备工业协会理事、天津市集成电路行业协会副会长、天津市智能制造装备产业协会副会长等。获中国机械工业技术发明特等奖、天津市技术发明一等奖、中国好设计金奖、中国产学研合作创新成果奖等，入选国家万人计划领军人才、天津市有突出贡献专家等。
个人主页：胡春光
